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一、半導體制造工藝過程中揮發的各種有機廢氣,半導體廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體?! ?、酸堿廢氣...